简介： 本发明属于化学机械抛光液技术领域，具体涉及一种基于高纯球形硅溶胶的环保型化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法。粗抛抛光液包括以下重量百分比的各组分：高纯球形硅溶胶0.5‑25％，表面活性剂0.15‑0.5％，氧化剂2‑5％，pH调节剂10‑20％，螯合剂2‑5％，余量为水。精抛抛光液包括以下重量百分比的各组分：高纯球形硅溶胶0.5‑30％，表面活性剂0.25‑0.70％，氧化剂2‑5％，pH调节剂10‑18％，螯合剂2‑5％，余量为水。本发明所提供的抛光液高纯、稳定，经测试后表面光泽度高、去除率高、平坦均匀，几乎无划痕，无污染物，抛光效果优异。