简介： 本发明提供了一种化学机械研磨工艺的模拟装置的建立，包括：第一步骤：根据工艺平台下的设计规则，设计线宽对数‑密度矩阵表格，包括线宽对数/密度的取值范围以及线宽对数/密度坐标序列的步径选取；第二步骤：根据线宽对数‑密度矩阵表格中表格交点对应的线宽和密度，设计一系列测试图形；第三步骤：收集各测试图形的化学机械研磨结果数据，直接赋值给对应的各表格交点；第四步骤：基于线性插值的数学方法，对所述线宽对数‑密度矩阵表格中剩余的空白表格交点进行化学机械研磨结果计算并赋值；第五步骤：优化所述线宽对数‑密度矩阵表格交点，保存得到最终模拟装置。