简介： 本发明公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒装置，用于清洗片盒本体，片盒本体的底部装载固定有承载架，包括箱体，箱体内设置有通过多个隔板分隔出来、且按照片盒本体的清洗移动方向设置的上料室、清洗室、冲洗室、烘干室；清洗室内、冲洗室内、烘干室内分别设置有清洗管路、冲洗管路和烘干管路；清洗室和冲洗室之间、冲洗室和烘干室之间均设置有隔离门；箱体内还安装有化学液喷雾罐和水蒸汽发生器，化学液喷雾罐和水蒸汽发生器均连通到清洗管路上，冲洗管路连通有水泵，而烘干管路连通有热风机；本发明还公开了全自动化学液喷雾及DI水蒸汽组合清洗片盒的方法，包括以下步骤：S1系统自检；S2片盒清洗；S3片盒冲洗；S4片盒烘干。