简介： 提供一种感应化学液体泄漏的装置和方法。用于感应化学液体泄漏的装置包括测量提供到处理室的化学液体流速的感应单元、使用测定的化学液体流速来判断是否发生化学液体泄漏并且产生控制信号的过程控制单元、和接收控制信号的输入并控制设备运转的设备控制单元。