中空纤维膜组件、其铸封材料和化学品脱气方法
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中空纤维膜组件、其铸封材料和化学品脱气方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种在半导体生产工艺、打印机、液 晶密封工艺或化学品生产工艺等中用于化学品脱气的中空纤 维膜组件及其铸封材料, 并涉及一种使用所述中空纤维膜组件 的化学品脱气方法。本发明的中空纤维膜组件1的特征在于, 铸封材料2是一种环氧树脂固化产物, 其中铸封材料测试片在 该测试片在化学品中于室温下浸渍6个月之后的单位表面积的重量变化为-20至+20毫克/厘米2, 且外壳4是一种聚烯烃, 其中测试片在该测试片在化学品中于室温下浸渍6个月之后的单位表面积的重量变化为-20至+20毫克/厘米2, 且总金属含量为300ppm或更低, 所述组件能够用于长期的化学品处理而不会出现从组件中的泄漏。
本发明涉及一种在半导体生产工艺、打印机、液 晶密封工艺或化学品生产工艺等中用于化学品脱气的中空纤 维膜组件及其铸封材料, 并涉及一种使用所述中空纤维膜组件 的化学品脱气方法。本发明的中空纤维膜组件1的特征在于, 铸封材料2是一种环氧树脂固化产物, 其中铸封材料测试片在 该测试片在化学品中于室温下浸渍6个月之后的单位表面积的重量变化为-20至+20毫克/厘米2, 且外壳4是一种聚烯烃, 其中测试片在该测试片在化学品中于室温下浸渍6个月之后的单位表面积的重量变化为-20至+20毫克/厘米2, 且总金属含量为300ppm或更低, 所述组件能够用于长期的化学品处理而不会出现从组件中的泄漏。
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标签:化学分析
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