简介： 本发明公开了一种辉光放电辅助加热离子化学热处理炉,在炉体(2)的真空室内放置一钢制圆筒(4),欲处理的工件(5)摆放在工作台上(6)上,圆筒、工作台、炉体之间相互绝缘。离子化学热处理前,先通过转换开关(8)将离子化学热处理炉的直流电源(1)负极接在圆筒上,圆筒产生辉光放电并被加热,利用圆筒的热辐射对工件进行预热。待工件达到预热温度后,将直流电源的负极切换到工作台上,工件开始辉光放电加热并进行离子化学热处理,这样可以缩短工件溅射清理的时间,防止直流电源因过流损坏。在离子化学热处理过程中,圆筒与工件也可以同时接直流电源的负极,依靠圆筒的辅助加热提高工件温度均匀性,并解决了工件测温难的问题。