简介： 一种化学药品存储设备(100)和监测化学药品使用的方法。该设备和所公开的方法采用化学药品存储罐(102)和集成至一个可运输单元的载荷单元(104)。该载荷单元(104)能够补偿在半导体产业中所使用的附加的分配设备增加的重量。另外,当将化学药品从化学药品存储设备(100)抽出时,载荷单元(104)连续显示化学药品的重量(220)。被组合入载荷单元(104)本身的载荷单元(104)的控制逻辑包括这些功能。