简介： 本发明涉及一种化学气相沉积方法、载具、电池片及异质结电池，由于非遮蔽区的外边缘环绕有环形遮蔽区，从而能够有效的避免N层掺杂磷原子膜层绕镀到了反面与非遮蔽区上的i层钝化层及P层掺杂硼原子膜层相接触，进而能够避免N层掺杂磷原子膜层中的磷原子穿过i层钝化层而与P层掺杂硼原子膜层导通，从而能够有效的避免生产出来的异质结电池的并阻偏低的问题，在EL检测过程中也不会出现边角发黑的问题，保证产品良率。