简介： 本实用新型公开了一种新型化学气相沉积炉炉盖，包括炉盖本体，所述炉盖本体上固定安装有炉盖本体上法兰，所述炉盖本体上开设有炉盖本体快冷抽气口，所述炉盖本体两端均安装有炉盖本体加强筋，所述炉盖本体加强筋底端安装有炉盖本体大法兰，所述炉盖本体内安装有炉盖本体安装板，所述炉盖本体安装板底端开设有炉盖本体中心排气管，本实用新型的炉盖本体设有热电偶检测口，通过热电偶检测口可实现精准的温度检测，本实用新型实施例的沉积炉炉盖在传统气相沉积炉结构基础上，将炉盖和快冷抽气环做了集成，减少了制作成本，本实用新型实施例的气相沉积炉炉盖与传统气相沉积炉炉盖相比钢材用量减少30％，降低材料成本的同时，减轻了炉盖重量。