简介： 本发明公开了利用微波等离子体化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜的方法，涉及金刚石薄膜技术领域，包括以下步骤：步骤S1：准备工序衬底和金刚石；微波等离子体化学气相沉积设备、磁控溅射仪和匀胶机；丙酮溶液、乙醇溶液、氢氟酸和去离子水；步骤S2：初步处理；步骤S3：再次处理，将研磨后的衬底置于丙酮溶液、乙醇溶液、氢氟酸和去离子水中依次进行清理；清理完成后对衬底进行烘干；步骤S4：附着层制备；步骤S5：启动制膜；步骤S6：后续处理；步骤S7：制件和分析。本发明具备了步骤简便杂质较少，通过附着层的设置可提高结构之间的附着力，且本方法具有所制成的薄膜其成核密度较高的效果。