简介： 本实用新型适用于化学气相沉积技术领域，提供了一种等离子体化学气相沉积设备进气机构，包括筒体、端盖、平滑段和固定盘一，所述平滑段固定安装于端盖的侧面，平滑段侧面安装有过渡段，其与筒体同轴线布置；所述固定盘一布置于筒体的内壁，固定盘一与筒体内侧安装的固定盘二平行布置，固定盘一和固定盘二均与过渡段之间形成流道，且固定盘二上流道的直径大于固定盘一上流道的直径，以便于气体流动；本进气结构在使用时，能对进入设备的气体温度进行检测，并将气体加热到所需的温度，还能从侧面将气体均匀的向外排出，以便于化学气相沉积设备使用，从而保证其以最佳的状态运行。