简介： 本发明涉及一种NO₂化学电阻式气体传感器，包括自下而上依次设置的基底、绝缘层、表面修饰层、活性敏感层以及源漏电极，表面修饰层的材质为含端氨基的硅烷化合物，含端氨基的硅烷化合物的分子式为H₂N‑(CH₂)_n‑SiCl₃，H₂N‑(CH₂)_n‑Si(OCH₃)₃或H₂N‑(CH₂)_n‑Si(OC₂H₅)₃，其中，n＝3‑18，活性敏感层的材质为有机半导体。本发明还提供了一种上述NO₂化学电阻式气体传感器的制备方法：在基底表面形成平整的绝缘层，然后使含端氨基的硅烷化合物在绝缘层表面进行自组装，形成表面修饰层；在表面修饰层上沉积活性敏感层，在活性敏感层上沉积源漏电极，形成NO₂化学电阻式气体传感器。本发明的气体传感器对NO₂表现出快速的响应和快速的回复特点，响应灵敏度很高，最低检测限可以达到ppb级别。