简介： 本实用新型公开了一种便于检测的派瑞林镀膜工艺的检测加工装置，属于化学气相沉积技术领域，包括：蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统、冷却控制器以及管道，真空沉积室上部设置有升华杯，升华杯设置有料仓杯、加热环和升华室，加热环上设有温度传感器，料仓杯的下端设有密封环，密封环的一侧设有加热片，加热片的底部设有下加热传感器，升华室上连接有连接环，连接环上连接有两个前加热环，两个前加热环上分别设有上加热传感器和中加热传感器，在其中一个前加热环的一端设有上连接环。本实用新型通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，通过用紫外线灯照射来检测，可以对加工产品的效果有了直观的观察。