简介： 本实用新型公开了一种化学气相淀积材料生长设备的取样装置，包括基座和箱体，所述基座的底部四角处均固接有自锁万向轮，所述箱体位于基座的上方，且箱体和基座之间固接有两个支撑杆，从而使得生长设备内的气体进入到箱体内，使得气体推动第二活塞，从而使得第二活塞在取样筒移动，从而使得气体进入到取样筒内，接着气体进入到检测设备上进行检测，且取样筒有四个，从而解决了现有的取样筒只有一个，从而造成最终的检测数据不具有代表性，从而使得不够准确，同时在第一活塞和第二活塞的作用下，排掉箱体和取样筒内的空气，从而防止空气与气体混合在一起，使得最终的检测数据不够准确。