简介： 本实用新型公开了一种用于化学机械抛光的修整装置及系统，所述修整装置包括固定座、摆臂和修整器，所述修整器设置于摆臂的端部并绕固定座摆动；所述修整器包括修整头和检测组件，所述修整头用于修整抛光垫，所述检测组件与修整头在水平方向相邻设置以检测抛光垫的形貌。