制造化学机械抛光垫的方法
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制造化学机械抛光垫的方法
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简介： 提供一种制造化学机械抛光垫的方法，其中自动检查系统经配置以检测切削薄片的宏观不均匀性并且将所述切削薄片分类成可接受或待检；其中所述可接受切削薄片进一步加工形成化学机械抛光垫的抛光层。
提供一种制造化学机械抛光垫的方法，其中自动检查系统经配置以检测切削薄片的宏观不均匀性并且将所述切削薄片分类成可接受或待检；其中所述可接受切削薄片进一步加工形成化学机械抛光垫的抛光层。
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标签：化学分析
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