简介： 本发明属于硬脆材料的超精密加工技术领域，提供了一种蓝宝石衬底的高效混合磨料化学机械抛光液。该高效混合磨料化学机械抛光液包括混合磨料、表面活性剂、螯合剂、pH调节剂和去离子水。化学机械抛光后，在105×141μm²的较大检测范围下，蓝宝石衬底的表面粗糙度Ra为0.530nm，材料去除速率为6.78μm/h。实现了蓝宝石衬底的超高材料去除速率和无损伤的亚纳米级表面粗糙度的化学机械抛光。