用于定位电化学存储器中的缺陷的方法和设备和缺陷定位系统-化学分析技术-分析检测技术-技术-北方有色网

简介： 本发明涉及一种用于定位电化学存储器（165）中的缺陷的方法。该方法包括对电化学存储器（165）的部分区域（145、150、155、160、170）调温以便提高所述部分区域（145、150、155、160、170）的内部压力的步骤；检测测量值的步骤，所述测量值代表响应于所述部分区域（145、150、155、160、170）的提高的内部压力而进行的成分从所述部分区域（145、150、155、160、170）的逸出；和当所述测量值与比较值有预定的关系时定位所述部分区域（145、150、155、160、170）中的缺陷的步骤。

本发明涉及一种用于定位电化学存储器（165）中的缺陷的方法。该方法包括对电化学存储器（165）的部分区域（145、150、155、160、170）调温以便提高所述部分区域（145、150、155、160、170）的内部压力的步骤；检测测量值的步骤，所述测量值代表响应于所述部分区域（145、150、155、160、170）的提高的内部压力而进行的成分从所述部分区域（145、150、155、160、170）的逸出；和当所述测量值与比较值有预定的关系时定位所述部分区域（145、150、155、160、170）中的缺陷的步骤。