简介： 本发明提供一种光波导生物化学传感器、制备方法以及基于这种传感器的光波导特征模式检测系统，光波导生物化学传感器包括：棱镜、一硅基底层，嵌入在所述硅基底层中的多孔硅衬底层和多孔硅光波导层，所述多孔硅光波导层位于所述多孔硅衬底层外层，在所述棱镜和所述多孔硅光波导层之间设置有空气隙。本发明具有采用多孔硅作为传感材料，该材料具有表面积高、制备成本低、结构参数可调节性大、响应速度快、温度适应性好、目标分子兼容性好、测量精度高等特点，是生物化学传感的理想材料。