简介： 本发明公开了一种化学机械研磨液自动配制控制系统，包括控制单元、执行单元、测量单元、罐体单元和管线单元；其中，管线单元包括，研磨液管线和双氧水管线，研磨液管线和双氧水管线上均安装有测量单元和执行单元；罐体单元包括配制罐和设置在配制罐内的搅拌装置，配制罐用于存放由研磨液原液和双氧水原液配制得到的研磨液；测量单元为折光仪，控制单元用于实时接收所述折光仪检测的数据，并结合预设的研磨液浓度阈值生成执行命令传输给执行单元。其效果是：能够实时检测各管线和罐体中的液体浓度值，并根据测量的实时数据对配制罐中的研磨液浓度进行自动控制，不需要增加额外的维护量和维护费用，并且提高了检测的准确度。