简介： 本发明实施例公开了一种半导体光电化学传感器及其制备方法，该传感器包括：工作电极、对电极、参比电极和电化学工作站；工作电极、对电极和参比电极分别与电化学工作站电连接，工作电极与对电极电连接，对电极与参比电极电连接；工作电极包括：导电基底和位于导电基底一侧的图案化半导体异质层，图案化半导体异质层背离导电基底的一侧表面包括多个微结构；工作电极与对电极平行对置，多个微结构面向对电极，参比电极位于对电极远离工作电极的一侧。本发明实施例提供的半导体光电化学传感器，具有较高的响应速率及检测极限，稳定性好且可重复性高，适合工业化批量生产。