简介： 本发明提供了一种可提高抛光性能的化学机械抛光方法，该方法包括第一阶段抛光、第二阶段抛光和第三阶段抛光，该方法包括以下步骤：步骤1：统计得出第一阶段抛光、第二阶段抛光和第三阶段抛光的总时间；步骤2：将第一阶段抛光时间设定为总时间的60‑70％，将第二阶段抛光时间设定为总时间的20‑30％，并且按照设定时间进行抛光；步骤3：进行第三阶段抛光并检测抛光终点，在检测到抛光终点时停止抛光。本发明所述的可提高抛光性能的化学机械抛光方法，可大幅度提高抛光性能。