简介： 本实用新型实施例提供一种化学气相沉积系统。本实用新型实施例所述的化学气相沉积系统包括依次连通的蒸发室、裂解室、沉积室、冷阱以及抽真空装置，并在蒸发室中设置压力检测装置和第一温度检测装置，通过获取并控制蒸发室的压力和温度来控制沉积压力，能够实现控制沉积压力的即时性。