简介： 描述了用于确定化学元素浓度和控制半导体工艺的样品的自动采样系统和方法。一个系统的实施例包括被配置为在第一位置收集磷酸样品的远程采样系统，所述远程采样系统包括远程阀，所述远程阀具有与其耦合的保持环；以及被配置为用于定位在远离所述第一位置的第二位置的分析系统，所述分析系统经由输送管线耦合到远程阀，所述分析系统包括被配置为确定磷酸样品的一个或多个成分浓度的分析设备，并且包括被配置为将样品从保持环引入输送管线以利用分析设备进行分析的第二位置处的样品泵。