简介： 本发明属于金属涂层检测技术领域，提供了一种用于检测片状富硅相的腐蚀液及片状富硅相检测方法；腐蚀液由硫酸水溶液和ZnSO4水溶液按体积比1～3∶0.5～1混合而成；硫酸水溶液的体积浓度为0.005%‑0.20%，ZnSO4水溶液的质量浓度为0.005%‑0.10%；检测方法包括制样、抛光、化学腐蚀和扫描电镜观察。本发明提供的腐蚀液及检测方法可以得到完整清晰的片状富硅相整体形貌，可充分显示片状富硅相的尺寸、分布、形貌及生长情况，且具有检测费用低、快速、简单的特点。