简介： 本发明公开了一种可用于电化学实时PCR的芯片及其制备方法，在基片上生长绝缘层，然后制作三电极，包括工作电极、辅助电极和参比电极；接着在工作电极表面生长绝缘薄膜，通过光刻工艺和腐蚀工艺将微阵列电极的掩膜版图形转移到绝缘薄膜上；再在工作电极上腐蚀掉绝缘薄膜的区域生成微阵列电极。每个微阵列电极就是一个独立反应单元，用于电化学实时PCR反应。本发明的芯片可通过串联或并联方式联用，同时进行很多PCR反应，大大提高检测通量，具备高精度、高通量、低浓度定量检测的优势。