简介： 一种半导体制造系统，包括：化学机械研磨系统；卡匣保持区域，卡匣保持区域由壁包围并具有门，门可由操作员打开以将一或多个卡匣放置入卡匣保持区域；机器人，机器人经配置以在卡匣保持区域中的卡匣和化学机械研磨系统之间传送基板；计算机控制器，计算机控制器经配置以使机器人移动到起始位置(home position)；断路器，断路器在通向机器人的电源线路中；门传感器，门传感器用于检测门是否打开；机器人存在传感器，用于检测机器人是否处于起始位置；和控制电路，控制电路经配置以从门传感器和机器人存在传感器接收信号，并且若门是打开的且机器人不处于起始位置，则使断路器切断对机器人的供电。