简介： 本发明公开了一种高纯度化学物质的制备装置，包括离子提纯装置、动力装置、离子产生装置以及离子收集装置；所述离子提纯装置包括至少两个并联的四级质量分析器；所述动力装置用于驱动四级质量分析器的运行；所述离子产生装置用于产生离子源；且该离子源能够进入所述离子提纯装置内；所述离子收集装置用于收集所述离子提纯装置分离的离子。该装置可以制得100％纯度的物质，制备速度快，本发明还公开了其制备方法，该方法能够较快速度的制备高纯度化学物质。