简介： 本发明公开了一种拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用，属于化学气相沉积领域。系统包括化学气相沉积系统和拉曼光谱仪，所述化学气相沉积系统包括高温炉，所述高温炉中的炉腔内设有穿过高温炉的三通炉管，所述三通炉管设有上方开口，上方开口的正下方设置有载样台，所述三通炉管的上方开口密封连接光学镜片；所述拉曼光谱仪的探头垂直对准三通炉管中置于载样台上的基底。本发明通过设置三通炉管的上方开口为透射窗口，以供光信号通过，使拉曼光谱仪实时监控化学气相沉积进程，进而通过分析拉曼光谱数据对样品制备的生长参数进行调控，制备样品过程更加灵活可控，有效提高了样品生长的效率。