外槽液位指示型的化学处理槽
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外槽液位指示型的化学处理槽
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简介: 一种外槽液位指示型的化学处理槽,在外槽增加一连通导管装置,使化学处理槽中的化学处理液可流通至连通导管装置中。借由连通管原理,连通导管装置中化学处理液的液面高度,会与化学处理槽中的化学处理液液面高度相同。因此,利用目视方式即可由本发明的透明连通导管装置中,观测出化学处理液的液面高度。如此一来,当氮气液面传感器感应到氮气异常状况时,即可利用目测方式省略现有复杂的化学处理液液面检查步骤,以提高机台的生产时间并节省化学品的使用量。
一种外槽液位指示型的化学处理槽,在外槽增加一连通导管装置,使化学处理槽中的化学处理液可流通至连通导管装置中。借由连通管原理,连通导管装置中化学处理液的液面高度,会与化学处理槽中的化学处理液液面高度相同。因此,利用目视方式即可由本发明的透明连通导管装置中,观测出化学处理液的液面高度。如此一来,当氮气液面传感器感应到氮气异常状况时,即可利用目测方式省略现有复杂的化学处理液液面检查步骤,以提高机台的生产时间并节省化学品的使用量。
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标签:化学分析
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