抛光头，化学机械抛光系统和抛光衬底的方法
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抛光头，化学机械抛光系统和抛光衬底的方法
来源：北方有色网
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简介： 抛光头包括承载头和多个布置在承载头上的压力单元。至少两个压力单元位于相对于承载头的中轴线的同一圆周线上。本发明还涉及抛光头，化学机械抛光系统和抛光衬底的方法。
抛光头包括承载头和多个布置在承载头上的压力单元。至少两个压力单元位于相对于承载头的中轴线的同一圆周线上。本发明还涉及抛光头，化学机械抛光系统和抛光衬底的方法。
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标签：化学分析
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