简介： 本发明公开了一种电化学超微组合电极及其制备方法。本发明采用光刻技术将超微电极图形转移至基片上后,再次甩涂光刻胶,以光刻胶直接作为绝缘包封层,曝光将电极尖端部分的光刻胶刻蚀掉,形成微电解槽。此方法制作步骤相对简单,可一次性大量制备,并保证了电极暴露面积精确可控。制作得到的微电解槽在实验测试中显示出高传质速率、高信噪比、高电流密度等优良的电化学特性。电极位置固定,有利于得到重现性良好的结果。电解槽的容积小于1PL,可用于精确地限域并检测痕量电解液。以上结果都表明此类器件具备很好的微量痕量检测的能力。