简介： 本发明属于薄膜生长监测技术领域，公开了一种化学气相沉积监控系统及方法，薄膜材料放置于化学气相沉积装置内；光学成像检测装置包括飞秒脉冲激光器、第一柱面透镜、第一虚拟成像相位阵列、第一衍射光栅、第一显微物镜、第二显微物镜、第二衍射光栅、第二虚拟成像相位阵列、第二柱面透镜、单模光纤、光电探测器、高速示波器。本发明通过光学成像检测装置实时监测薄膜材料的生长过程，快速、实时获得薄膜材料生长过程信息，通过与样品数据库数据进行对比，实时调整生长工艺参数以提高薄膜的生长质量。解决了现有技术中化学气相沉积设备不能做到快速、实时监控薄膜生长状态的问题，达到了能够快速、实时获得薄膜材料的生长信息的技术效果。