简介： 本发明公开了一种化学机械抛光中延长研磨垫寿命的方法,包括以下步骤:第一步,测量不同使用时期研磨垫的研磨垫沟槽深度和研磨垫厚度,从而确定研磨垫的不同区域的切削速度;第二步,设定修正盘在研磨垫不同区域的停留时间;第三步,检测研磨垫不同区域的研磨粒和化学机械抛光的研磨速率;第四步,测量使用到寿命的研磨垫的研磨垫沟槽深度和研磨垫厚度;第五步,针对上面几步的检测结果设定修正盘在研磨垫不同区域的压力;第六步,重复第三步到第五步,直到找到适合的压力参数,使研磨垫各个区域的面内损耗和沟槽深度趋于一致。本发明通过对研磨垫各个区域压力的设置,使研磨垫的切削更均匀,可以延长研磨垫的使用寿命,降低生产成本。