简介： 本发明公开了一种化学机械抛光液的制备工艺:将化学机械抛光液的各成分按其工作机理、功能、化学或物理性质分组,平行的将每组的成分分别进行混合,得到各中间预混物,对中间预混物进行质量控制测试,全部中间预混物检测合格后,进行混合,制得化学机械抛光液。本发明的制备工艺缩短了大规模生产的工艺流程时间,极大地提高了产能,降低了生产成本,并且增加了工艺流程质量控制点,提高了质量控制水平,使产品质量保障得到极大提升,降低了生产质量事故风险,因而具有明显的经济价值。