简介： 本实用新型公开了一种用于化学品过滤器更换的自动排泡系统，其中化学品过滤器将化学品供应柜和制程单元连通，化学品供应柜与化学品过滤器的输入端通过输入管路连通，化学品过滤器的输出端与制程单元的输入端通过主管路连通，所述系统包括控制单元、气泡检测器、三通阀、流量计、旁路开关阀，气泡检测器设于主管路上，三通阀设于气泡检测器和制程单元的输入端之间且连接一旁路排气管路，气泡检测器与控制单元通讯连接，旁路排气管路上设有旁路开关阀，三通阀和旁路开关阀之间还设有流量计，流量计和旁路开关阀分别与控制单元电性连接。本实用新型在主管路上增加旁路排泡结构，可以大幅缩短排泡耗时，降低化学品排放量，并且可以精确控制排液量。