简介： 本发明公开了一种化学制剂处理系统,包括构造相同的第一子系统和第二子系统、用于在两个子系统之间进行切换的第一方向切换阀、第二方向切换阀和第三方向切换阀以及工艺单元和在线化学分析仪。本发明的系统可以在不需要时间以重新注入化学制剂的情况下利用两个相同子系统的切换持续地向工艺单元提供化学制剂;该系统利用在线化学分析仪的帮助,可以循环再利用在工艺单元中已使用过的化学制剂,降低生产成本;该系统可快速而准确地控制化学制剂的温度、流量和压力。