简介： 本发明公开了一种基于局域电化学刻蚀的制备纳米CT金属微试样的装置，包括精密位置控制单元、电化学刻蚀单元、实时监控单元，所述精密位置控制单元用于样品的平移；所述的电化学刻蚀单元用于精确刻蚀样品，得到所需结构；所述的实时监控单元用于实时观察样品的刻蚀状态，并将所述的状态进行采集成像。本发明通过电化学局域刻蚀可以方便快捷、低成本制备直径仅为数十或数微米金属微柱试样及复杂形状例如狗骨头形状原位力学测试微试样，适用于多数金属或合金的X射线纳米CT试样的制备，本发明解决了金属材料纳米CT三维微观结构分析的制样难题，对促进X射线显微CT的推广应用具有重要的意义。