研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法-化学分析技术-分析检测技术-技术-北方有色网

研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法

来源：北方有色网
访问：959

简介： 研磨头(40)具备保持晶圆(W)晶圆保持部件(44)、设置于晶圆保持部件(44)的晶圆(W)侧的支承垫(46)、设置于晶圆保持部件(44)和支承垫(46)之间来测定支承垫(46)的温度的温度测定机构(47)。

研磨头(40)具备保持晶圆(W)晶圆保持部件(44)、设置于晶圆保持部件(44)的晶圆(W)侧的支承垫(46)、设置于晶圆保持部件(44)和支承垫(46)之间来测定支承垫(46)的温度的温度测定机构(47)。

标签：化学分析

宣传

相关技术

评论（0条）

200/200

宣传

发布
技术

顶部

发送手机验证码