简介： 本发明公开了一种扫描化学反应显微成像的方法及应用，属于材料测试仪器技术领域。利用可以精确扫描和定位的中空纳米探针进行样品表面化学反应物种的微区采样，结合采样物种的精准转移和高灵敏质谱探测分析，实现固体表面化学反应性能的显微成像研究。该系统包括中空纳米探针精确定位和扫描功能、中空纳米探针的微区采样功能、微区采样的精准转移功能、高效和高选择性采样物种的电离功能、高灵敏和高分辨离子分析和探测功能、样品表面环境和反应气氛控制功能。这是一种对表面化学反应物种包括原子、分子、自由基等在表面X、Y、Z三个维度上的分布进行空间分辨探测的方法，实现具备几百到几十纳米分辨的表面或界面化学反应性能的显微成像功能。