简介： 本发明提供的多元素的化学蒸气发生装置及其发生方法。该化学蒸气发生装置，包括吸液部、储液部、至少一个吸液泵、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部和混合气体输出接口，吸液部、储液部、推液泵部、还原剂泵部、气液分离部、载气部各具有多个通道，各个部分具有的通道数量相同且各自的通道一一对应地连通，通道数量与需进行化学蒸气发生的元素的种类数量相同。本发明保证了在多种元素同时检测时，对于每种元素检测的准确性和可靠性，而且缩短了分析时间、减少了分析成本，提高了分析效率。