简介： 本发明公开一种沾污检测系统及检测方法，包括：激光剥蚀机，对样品表面进行剥蚀，并将沾污以气溶胶形式提供给电感耦合等离子体质谱仪，或者化学液溶解单元；化学液溶解单元，利用腐蚀性液体溶解并收集所述激光剥蚀机所剥蚀的表面沾污，并将其浓缩于一个液体样品；电感耦合等离子体质谱仪，通过中央控制单元切换并选择进样，直接测出激光剥蚀机提供的气溶胶，或者测出浓缩液体样品；以及中央控制单元，对系统进行总括控制并以气溶胶做实时沾污分析或以液体样品做总沾污分析。该系统能够兼顾低检测底线的定量分析(液体样品)和图谱式的整个晶圆沾污分布分析(气溶胶)，功能强大但成本低廉。