简介： 本发明公开了一种化学机械研磨装置以及化学机械研磨方法,该化学机械研磨装置包括:研磨平台;驱动装置,与所述研磨平台连接,用于驱动所述研磨平台旋转;传感器,与所述研磨平台连接,用于测量研磨平台的转速并将所述转速转换为转速信号;控制器,与所述传感器连接,用于接收传感器输出的转速信号并根据所述转速信号输出报警信号,以启动报警装置报警。所述传感器可测量所述研磨平台的实际转速,一旦所述研磨平台的转速出现异常,所述控制器可根据传感器输出的转速信号输出报警信号,操作人员即可知晓所述化学机械研磨机台出现故障并及时处理晶片,从而避免晶片报废。