简介:
提供了一种能够检测流体从流路泄漏的化学合成装置、以及这样的化学合成装置的制造方法。本发明的化学合成装置的一个方式的特征在于,具有:基板,形成有用于将多个流体进行化学合成的流路;以及配线部,埋设于基板,通过配线部与流体接触,配线部的电阻值发生变化。
提供了一种能够检测流体从流路泄漏的化学合成装置、以及这样的化学合成装置的制造方法。本发明的化学合成装置的一个方式的特征在于,具有:基板,形成有用于将多个流体进行化学合成的流路;以及配线部,埋设于基板,通过配线部与流体接触,配线部的电阻值发生变化。