简介： 一种宽运行气压范围无离子损伤的ECR微波等离子体增强低温外延系统与技术,系统由腔耦合型ECR微波等离子体源、真空系统、配气系统、检测与分析及计算机数据采集与控制系统组成;配置有带差分抽气结构的RHEED,可实现原子尺度控制生长的原位实时监测。是适于单质和多元素化合物薄膜,复杂层状结构,超薄层微结构材料生长的高精密低温外延系统与技术;还能满足等离子体与生长表面的相互作用等相关基础研究的要求。