简介： 本发明公开了一种基于光学层析同时迭代重建的LIBS分析方法，将多元LIBS定量求解问题等效于高精度的光学层析重建问题，将关联矩阵F的求解等效于光学层析中的重建三维物理量分布。采用高精度的SIRT迭代算法结合矩阵列向量分解，逐列迭代求解关联矩阵F的各个列向量，从而得到关联矩阵F。然后根据未知样品的实测归一化光谱强度向量与关联矩阵的运算实现未知样品中每个元素的高精度求解分析。本发明的有益效果是，在多变量分析标定中采用类光学层析模型并求解，以解决化学基质效应中不同元素竞争发射的影响；采用SIRT层析迭代算法求解，有效抑制测量数据中的噪声，并得到最小均方根误差的关联矩阵，从而提高LIBS定量分析精度。