简介： 本发明利用微机电系统(MEMS)工艺及封装技术，以制造出具有多种离子感测功能的血液分析微系统。该血液分析微系统具有一集成化微型的参考电极，故芯片尺寸可非常微小化；且具有比平面式离子选择电极(Planar？ISE)或离子感测场效应晶体管(ISFET)更大的栅极感测区，可以有效避免不必要的信号干扰、降低封装困难及液体渗漏的机率。因此，该血液分析微系统具有成品轻薄短小、反应速度快、精密度高、成本较低及与IC工艺兼容性高的优点，并且具有长期电位稳定度极高、补偏电位极低、交流阻抗小、动态参考电位稳定、电化学噪声低、电极的再现性高等优秀的电化学特性。