简介： 本发明属于表面化学技术领域，特别涉及一种在超高真空系统内精确气体进样、采集的分析装置。包括气路装置、定量给料器装置、残余气体分析仪装置、激光器及超高真空腔体，其中气路装置和定量给料器装置连接，定量给料器装置接入超高真空腔体内，用于给样品的表面提供吸附气体；残余气体分析仪与铜罩子组合安装在超高真空腔体上，用于精准探测样品表面脱附出的气体；超高真空腔体上有预留的窗口，激光器发射的激光通过窗口照射至样品的表面上进行光化学反应。本发明易操作，精确度高，可以灵活地在超高真空系统内以各种角度转动样品，结合外加光照，可进一步探测并分析表面化学反应产物。