简介： 本发明提供一种透射电镜能谱超分辨分析方法，属于矿产资源勘查、微量元素地球化学领域。所述方法包括如下步骤：步骤1.目标样品的选择与分析。步骤2.微区微量元素组成分析样品的准备。步骤3.目标样品的性质与元素组成分析。步骤4.根据需要制备透射电子显微镜观察样品。步骤5.对上一步制备样品，放入透射电子显微镜进行形貌观察，寻找合适的分析位置。本发明能够在纳米尺度下，对样品微量元素检测，极大的提高了透射电镜能谱元素分析的实际应用检出限，也提出了样品中微量元素被主量元素信号干扰的解决办法，并且，本发明也可以应用于电子束敏感样品的能谱分析。