简介： 本发明提供使试样附着于具有导电性的探头(11)的顶端、对所述探头(11)施加离子化电压而对试样(21)赋予电荷从而使其离子化的离子化方法。在离子化方法中，实施使探头(11)的表面均质化的化学处理，使试样(21)附着于探头(11)的顶端，对探头(11)施加离子化电压而对试样(21)赋予电荷从而使其离子化。能够通过使探头(11)发生电晕放电等来进行使探头(11)的表面均质化的化学处理。